تعرف أيضا باسم ثلاثي السيليكون رباعي النيتريد ، و هي مادة كيميائية توجد على شكلين ألفا و بيتا ، و صيغتها Si3O4 و وزنها الجزيئي 140.28 جرام/مول . فالنوع ألفا مادة توجد عندما يتم تسخين مسحوق Si3N4 عند درجة حرارة 1200 درجة سيليزية لأكثر من أربع ساعات . و رفع درجة الحرارة إلى 1450 درجة سيليزية مع الاستمرار في التسخين لمدة ساعتين ينتج النوع بيتا. توجد هذه المادة في حالة النقاوة على شكل مسحوق أبيض اللون و لكن غالبا ما توجد على شكل مسحوق لونه بني أو أسود .
يتم تحضير نيتريد السيليكون عن طريق تسخين مسحوق السيليكون بين 1300 درجة مئوية و 1400 درجة مئوية في وجود النيتروجين:
3 Si + 2 N2 → Si3N4
مقالات قد تفيدك :